首頁(yè) / 產(chǎn)品展示 / 射頻電源
技術(shù)參數(shù)：輸出頻率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz，輸出功率500~5000W。
應(yīng)用領(lǐng)域：等離子清洗、等離子刻蝕、PECVD等。
功能特點(diǎn)
能耗低、體積小、使用壽命長(zhǎng)。
控制精度高，穩(wěn)定性高。
面板可顯示和調(diào)節(jié)頻率、設(shè)定功率、正向功率、反射功率、負(fù)載功率。
具有過(guò)壓、過(guò)流、過(guò)反射、過(guò)溫等保護(hù)功能。
支持多種通訊協(xié)議。
